[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2026-04-09
规格型号 : GM-100
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : S2409406
[ 联系信息 ]
联系人 : 赵玉娟, 吴倩
存放地址 : 能源材料化学研究院科研创新中心玉泉校区 B20
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
•主机：GM-100粉末ALD主机（含旋转流化反应腔）
•手套箱：双工位惰性气氛手套箱（水氧<1 ppm）
•前驱体系统：8路前驱源瓶（双管式、可加热）+ 2路气体MFC
•真空单元：油泵、泵前过滤、ALD尾气处理、真空规
•温控系统：反应腔双区加热、前驱体独立加热、管路伴热
•控制单元：PLC+触摸屏HMI、自动阀组、脉冲时序控制
主要功能及特色 :
实现高精度、高均匀性的纳米薄膜沉积，包覆均一性可控制在 3% 以内可用于沉积多种材料：如氧化物、氯化物等纳米薄膜。
主要规格及技术指标 :
•样品处理能力：最大装载量 100g 粉末；样品桶容积 0.33L，最大装料容积 0.13L
•反应腔温度：室温（RT）～300℃，双区精准控温
•前驱体系统
◦最大配置：2组反应气体 + 8组液态/固态前驱体
◦前驱体加热：室温～200℃，独立控温
