1. 电子光学系统：Gemini 镜筒，二次电子探测器集成于镜筒内；
2. 加速电压：0.02 kV～30 kV；
3. 高分辨性能：15 kV 下二次电子分辨率≤0.6 nm，1 kV 下二次电子分辨率≤0.9 nm；
4. 束流范围：4 pA～20 nA；
5. 样品台：五轴电动样品台，X/Y 行程≥100 mm，Z 行程≥50 mm，倾斜范围 - 5°~70°，旋转 360°；
6. 真空系统：分子泵 + 机械泵组合，样品室真空优于 5×10⁻⁴ Pa；
7. 图像采集：最高 32 位灰度图像，扫描速率可调。

本设备为蔡司 Gemini 系列高分辨场发射扫描电镜，用于固体材料微观形貌观测、尺寸表征。搭载 Gemini 电子镜筒，在低电压条件下仍可保持优异分辨率，适合半导体、薄膜、纳米粉体、能源材料、催化材料等样品表征。可实现纳米尺度微观形貌观察、颗粒尺寸统计、断面形貌分析；低电压模式可减少对软材料、易损伤样品的辐照破坏。支持外接能谱、EBSD 等拓展模块，可同步开展元素成分、晶体取向分析。

1. 场发射电子枪一套；
2. Gemini 镜筒系统，镜筒内二次电子探测器；
3. 五轴电动样品台；
4. 真空机组（分子泵、干泵）；
5. 图像采集与控制工作站；
6. 样品制备配套：导电胶、样品台、镊子；
7. 预留 EDS 能谱仪、EBSD 电子背散射衍射仪安装接口。