1 分辨率: ≤0.20 nm；
2 加速电压：20~120kV，加高压时间油封2到3分钟，加速电压稳定度: ≤2ppm/min（峰峰值）；
3 电子光学系统
3.1 电子枪：高亮度冷束电子枪，预对中灯丝设计，六硼化镧灯丝
3.2 聚光镜系统：2级，最小束斑尺寸: ≤0.2μm
3.3 物镜系统：2级
3.4极靴类型：高分辨极靴，无需切换模式
3.5励磁电流稳定度：≤1ppm/min（峰峰值）
3.6四级物镜光阑。
3.7具有中间镜系统和投影镜系统
3.8透镜系统：4级（中间镜3级，投影镜1级）
3.9 图像：具有畸变修正、磁转角修正功能
3.10 IOS（图像倾转系统）：图像旋转后放大倍率可以随意增大或减小
4 样品台
4.1 样品台倾斜角度：±25度
4.2 样品移动范围 ：X 和 Y: ≥2.0mm、Z: ≥1.0mm；
4.3 样品更换：气锁方式，自动2段抽气
4.4 样品台具有五轴马达驱动功能
4.5 样品台移动控制方式：轨迹球、操作键盘按键、操作画面
4.6 样品台重复精度：优于2μm，移动步长精度：优于3nm/步
4.7 样品预抽室真空隔离方式：二重O型圈
5 放大倍数
5.1 Low Mag 模 式 x10 - x1,000；
5.2 Mag 模 式 x200 - x1,200,000；
6 有选区模式，可进行电子束衍射研究
6.1 SA MAG模式放大倍数：×2,000~×300,000
6.2 选区光阑：3孔
6.3 相机长度：选区衍射(SA DIFF)： 150~3,500mm；高色散衍射(HD DIFF)：4 ~80m
7 底插CMOS相机技术规格
7.1 图像采集系统：配置一体化软件，可以实现蒙太奇和图像导航。
7.2 CMOS相机像素：≥2048* 2048
7.3读取速度：≥30fps@2048x 2048
7.4 动态范围：≥16bit
7.5 读出噪音：≤0.8e-
7.6可选择底片成像系统或数字化成像系统

120kV高分辨透射电子显微镜是一种利用电子束穿透样品进行高分辨率成像的分析仪器。其加速电压为120kV或可在20-120kV间连续可调，分辨率可达0.2纳米级别

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