等离子清洗仪
等离子清洗仪
负责人员
赵玉娟, 陶艺, 邹梅
存放地址
玉泉校区 科研创新中心 能源材料化学研究院
联系电话
13594343569
预约 送样
仪器编号
S2600039
规格
生产厂家
Fischione
型号
Fischione 1070
制造国家
分类号
出厂日期
2026-09-08
购置日期
2026-09-08
入网日期
2026-09-08
主要规格及技术指标

等离子技术：电感耦合，下游式设计
射频频率：13.56 MHz
功率：40 W（连续可调，建议不超过 40W）
等离子能量：< 12 eV，属低能量范围
样品腔室：石英材质，直径 3.5 英寸（约 8.9 cm）
真空系统：无油真空系统（涡轮分子泵 + 隔膜泵）

主要功能及特色

等离子清洗仪是一款专为电镜样品前处理设计的精密等离子清洗仪。其核心优势在于其无溅射的“下游式”等离子技术，能在无损样品的前提下，高效去除表面碳氢污染物。可清洗铜网，配备的清洗仓还可清洗扫描样品台等。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
计费信息：参考收费标准（元）： 1． 计费单位：单个实验件用时未超过30分钟，按30分钟计费；否则每30分钟算一个计费单位。 2． 基础实验费用为每小时180元，校内按60%收取，学院内按30%收取。