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主要规格及技术指标
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真空度:10^-8 mbar |
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主要功能及特色
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通过精确控制沉积参数,制备出高质量、高性能的薄膜材料。 |
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主要附件及配置
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配有一瓶满瓶氧气和一瓶满瓶氮气,配有一台臭氧仪,配有一台高精度全自动交流稳压器,配有一台无油空气压缩机 |