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高真空有机金属蒸发手套箱镀膜机是一种用于材料科学和工程领域的设备,主要用于在高度控制的环境下进行薄膜沉积。其主要功能包括:
1.高真空环境:提供一个极高真空的环境,减少气体分子(如氧气和水蒸气)对薄膜沉积过程的干扰。这对于获得高质量的薄膜至关重要。
2.有机金属蒸发:利用有机金属源材料,通过加热使其蒸发,并在基底上沉积形成薄膜。这种方法适用于各种有机金属化合物,可制备多种功能性薄膜。
3.手套箱系统:手套箱系统允许操作人员在不暴露于外部环境的情况下进行操作,确保整个过程在惰性气体(如氮气或氩气)保护下进行,进一步防止氧化和污染。
4.精确控制:提供对温度、蒸发速率、基底旋转、基底温度等参数的精确控制,以确保薄膜的均匀性和所需的厚度。
5.多种材料兼容性:不仅可以处理有机金属材料,还可以处理其他类型的材料,如无机半导体、绝缘体和金属,广泛应用于有机电子学、光电器件、传感器等领域。
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