1. 进样系统：
2. 全基体进样系统
3. 射频发生器：
4. 气体控制
5. 接口
6. 四极杆离子偏转器

多元素同时测定
极宽线性动态范围(~9数量级)
极高灵敏度和极好的检出限(大多数元素0.01-10ppt)
较快的分析速率
很少的样品量
少的谱线干扰
快速的定性、半定量分析能力
特有的同位素与同位素比值测定能力

检测器、质量分析器四极杆、通用池、偏转四极杆、离子源、进样系统。