超高真空双室磁控溅射镀膜设备
超高真空双室磁控溅射镀膜设备
负责人员
张勖
存放地址
赛罕校区 学正楼
联系电话
18010090093
仪器编号
S2022455
规格
生产厂家
沈阳科友真空技术有限公司
型号
BMS660B
制造国家
中国
分类号
03060301
出厂日期
2022-01-01
购置日期
2022-06-01
入网日期
2022-10-25
主要规格及技术指标

目前设备具有6个靶枪可用,含一个射频靶枪

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

暂无关联门禁
收费单位 所内/实验室内(元) 学部内(元) 校内(元) 社会服务(元) 天 116 139 173 347 测量仪器使用超过2个月,按收费标准的130%执行。 其他未说明的情况,按照《建设工程学部海洋工程研究所实验收费标准(试行)》的规定执行。