Z扫描器
柔性引导高推动力扫描器
扫描范围: 15 µm (可选30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, 0.5 kHz带宽)

XY扫描器
闭环控制的柔性引导XY扫描器
扫描范围: 50 µm × 50 µm
(可选10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)

驱动台
Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm (Motorized)

样品架
样品尺寸: 开放空间 up to 100 mm x 100 mm，厚度 up to 20 mm
样品重量 : < 500 g

光学
10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 480 × 360 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

软件
SmartScan™
AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

XEI
AFM数据分析软件

智能模式下，系统自动执行所需要的成像操作，同时智能选择高品质的图像质量和扫描速度。
使用非接触模式用来保持探针的尖锐度和样品的完整性到磁力显微镜
探测样品形貌，片层厚度，深度

柔性引导高推动力扫描器 闭环控制的柔性引导XY扫描器 驱动台 样品架 AFM模式 力测量 介电/压电性能