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主要规格及技术指标
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XY 轴闭环噪音 <60 pm; 开环噪音<8 pm; |
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主要功能及特色
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形貌测试、表面电势、力曲线测试等,轻敲、接触、液相等模式 |
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主要附件及配置
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全数字化控制系统;气相探针夹持器;可视光路模块 |