[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : 无
购置日期 : 2008-09-25
规格型号 : CORDET,ET-3000I
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 11002490
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱成军, 刘瑞建
存放地址 : 卓越楼赛罕校区 0110
联系电话 : 18804924836
联系邮箱 : ruijian-liu@imu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
电脑一台，空气压缩机一台
主要功能及特色 :
高精度测量物体表面轮廓，并提供相关形状和尺寸数据。
主要规格及技术指标 :
扫描时最小正压力为0.03mg，最佳垂直分辨率为0.38A，Z测量重复精度保证6A重复性(1μm台阶标样)，最大垂直测量范围不小于800μm，具有双向扫描测量的功能，薄膜应力测试功能，最大采样点数120,000，线性扫描方式无需校正抛物线型，扫描长度50μm-55mm，扫描速度0.01-0.2mm/s
